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桂成群

 

科研团队成员

 

职务职称:教授、博导、千人计划

 

 

学科研究:

微纳制造

激光直写

科学仪器及制造装备

 

 

教育工作经历:

清华大学本科及硕士,荷兰特温特大学博士

荷兰ASML主持光刻机项目研发

 

 

 

科研成就:

申请国际专利近100项次(其中授权40余项美国专利)

国际期刊发表论文30余篇,国际会议报告10余次,国际会议大会特邀报告一次

提出SLS100型LED光刻机的技术方案和商业计划书。作为主要发起人和技术负责人,筹集到约2500万美元的风险投资,指导光刻机的总体设计

 

 

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