桂成群

GUI CHENG QUN

职称/学术兼职

教授、博导、千人计划

 

 

职位

联系方式

cheng.gui@simaxat.com

主要研究方向

微纳制造

激光直写

科学仪器及制造装备

教育工作经历

清华大学本科及硕士,荷兰特温特大学博士

荷兰ASML主持光刻机项目研发

论文发表和专利

申请国际专利近100项次(其中授权40余项美国专利)

国际期刊发表论文30余篇

所获荣誉

申请国际专利近100项次(其中授权40余项美国专利)

国际期刊发表论文30余篇,国际会议报告10余次,国际会议大会特邀报告一次

提出SLS100型LED光刻机的技术方案和商业计划书。作为主要发起人和技术负责人,筹集到约2500万美元的风险投资,指导光刻机的总体设计