1、设备参数

1)8英寸探针台，移动范围203mm×203mm以上；载物台寄生电容≤75fF，需提供公开发布的测试指标数据；

2)载物台X-Y方向：分辨率1µm、重复精度 ≤2µm，移动速度 ≥50mm/sec；Z方向移动范围 ≥5mm、分辨率1µm、重复精度 ≤1µm；

3)在Theta方向：移动范围±5.5°；分辨率0.65µm；重复精度±2µm；

4)平台高度提升范围5.0 mm；移动重复精度≤3µm；可停留在任意角度。

2、简介

射频直流探针台主要应用于半导体行业、集成电路以及封装测试，广泛用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。

3、功能(应用)

具有200mm的晶圆探测能力，可用于器件的射频和直流特性测试和晶圆级可靠性测试。