题目：光谱椭偏学：原理、仪器及在纳米测量中的应用

报告人：刘世元教授

时间：2018年3月26日上午9：00

地点：武汉大学动力与机械学院报告厅

欢迎各位师生踊跃参加！

摘要：

椭偏仪是一种利用光的偏振态改变信息来分析样品的重要科学仪器，广泛应用于材料光学常数、薄膜厚度等参数的测量表征。其中，穆勒矩阵椭偏仪代表了椭偏仪的最高水平，可以测得一个4乘4阶的穆勒矩阵共16个参数，因而可以获得更为丰富的测量信息。本报告首先介绍传统椭偏测量的基本原理及在多层光学薄膜表征中的应用；然后阐述IC集成电路、OLED/OPV、柔性电子等领域中普遍采用的超薄层状纳米结构及其测量挑战；接下来介绍本课题组的若干最新进展，包括自主研制的国内第一台高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪，及其在IC纳米结构形貌测量、二维材料单原子层膜厚表征、OLED/OPV材料分子取向各向异性分析、原子层沉积(ALD)薄膜成核过程原位测量、以及卷对卷(roll-to-roll)大面积纳米结构薄膜量产在线监测中的应用；最后展望椭偏测量的应用前景及未来发展趋势，包括更宽光谱范围、更高空间分辨、更高时间分辨的新型椭偏仪研制及其潜在应用。

主讲人介绍：

  刘世元博士，1970年出生，华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室教授、博士生导师，国家杰出青年科学基金获得者，国际测量与仪器委员会委员。近年来主持了6项国家自然科学基金、首批国家重大科学仪器设备开发专项等项目。获国际国内发明专利42件，在Opt. Express、Opt. Lett.等期刊发表SCI论文100余篇，重要国际会议做大会/特邀报告30余次；担任组委会主席，于2014年和2016年分别在武汉和南宁组织召开了第一届和第二届“全国椭圆偏振光谱学研讨会”。