刘文娟

职位:科研团队成员
电话:

职称/学术兼职

特聘副研究员,硕导

职位

联系方式

lwjwhu@whu.edu.cn

主要研究方向

压电MEMS声学传感器及应用,射频滤波器等

教育工作经历

教育经历:

2014.09 至 2020.08,复旦大学,专用集成电路与系统国家重点实验室,博士

2017.10 至 2019.05,法国国家科研中心电子微纳米技术研究所光声电实验室(CNRS-IEMN-DOAE),联合培养

2016.02 至 2017.09,新加坡南洋理工大学(NTU)和新加坡微电子研究所(A*STAR IME),联合培养

2011.09 至 2014.02,天津大学,电子信息工程学院,硕士

2007.09 至 2011.06,天津大学,电子信息工程学院,学士



工作经历:

2023.08-至今,武汉大学工业科学研究院,副研究员

2020.08-2023.07,武汉大学工业科学研究院,讲师

论文发表和专利

1. Zekai Wang, Wenjuan Liu*, Bohao Hu, Yuhao Xiao, Chaoxiang Yang, Liangyu Lu, Yao Cai, Yan Liu, and Chengliang Sun*. Theoretical Analysis and Verification on ScAlN-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers With DC Bias. Journal of Microelectromechanical Systems. 2024;33(1):54-65.

2. Bohao Hu, Wenjuan Liu*, Yan Liu, Chaoxiang Yang, Zekai Wang, Liangyu Lu, Yao Cai, Shishang Guo*, and Chengliang Sun*. A Sc0.096Al0.904N-Based Bimorph Piezoelectric MEMS Microphone Using 3 × 3 Circular Diaphragms. IEEE Transactions on Electron Devices. 2024;71(5):3162-3168.

3. Liu, Jieyu, Wenjuan Liu*, Zhiwei Wen, Xin Tong, Yan Liu, Yao Cai, and Chengliang Sun*. Suppression of spurious modes in lateral-excited bulk acoustic wave resonators using piston mode electrodes. Applied Physics Letters. 2024;124(20):203501.

4. Wen, Zhiwei, Wenjuan Liu*, Tiancheng Luo, Xin Tong, Ying Xie, Xiyu Gu, Yan Liu, Yao Cai, Shishang Guo, Jian Wang, and Chengliang Sun*. A laterally excited bulk acoustic resonator with scattering vias in electrodes. Applied Physics Letters. 2023;123(9):093501.

5. Bohao Hu, Wenjuan Liu*, Chaoxiang Yang, Liangyu Lu, Zekai Wang, Yan Liu, Yao Cai, Jian Wang,Shishang Guo, and Chengliang Sun*. A ScAlN-Based Piezoelectric MEMS Microphone With Sector-Connected Cantilevers. Journal of Microelectromechanical Systems. 2023;32(6):638-644.

6. Wei Zhu, Lei Wang, Zhipeng Wu, Wenjuan Liu*, Chengliang Sun*. Broadband Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer With a Resonant Cavity. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control. 2022;69(1):340-349.

7. Chaoxiang Yang, Bohao Hu, Liangyu Lu, Zekai Wang, Wenjuan Liu*, and Chengliang Sun*. A Miniaturized Piezoelectric MEMS Accelerometer with Polygon Topological Cantilever Structure. Micromachines [Internet]. 2022; 13(10).

8. Lei Wang, Jie Zhou, Wei Zhu, Zhipeng Wu, Wenjuan Liu*, and Chengliang Sun*. Piston-Mode pMUT With Mass Load. IEEE Journal of the Electron Devices Society. 2022;10: 235-244.

9. Lei Wang, Wei Zhu, Zhipeng Wu, Wenjuan Liu*, Chengliang Sun*. A Novel Coupled Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Based on Piston Mode. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control. 2021;68(11):3396-3405.

10. Binghui Lin, Yan Liu, Yao Cai, Jie Zhou, Yang Zou, Yi Zhang, Wenjuan Liu*, and Chengliang Sun*. A High Q Value ScAlN/AlN-Based SAW Resonator for Load Sensing. IEEE Transactions on Electron Devices. 2021;68(10):5192-5197.

11. Bohao Hu, Yan Liu, Binghui Lin, Guoqiang Wu, Wenjuan Liu*, and Chengliang Sun*. A Novel Trapezoidal ScAlN/AlN-Based MEMS Piezoelectric Accelerometer. IEEE Sensors Journal. 2021; 21(19): 21277-21284.

12. Wenjuan Liu, Leming He, Xubo Wang, Jia Zhou, Weijiang Xu, Nikolay Smagin, Malika Toubal, Hao Yu, Yuandong Gu, Jinghui Xu, Denis Remiens, and Junyan Ren*. 3D FEM Analysis of High-Frequency AlN-Based PMUT Arrays on Cavity SOI. Sensors. 2019; 19(20).

专利:

卢亮宇,刘文娟,胡博豪,杨超翔,王健,孙博文,孙成亮. 一种电容-压电式耦合麦克风,ZL202310025566.9,中国,发明专利,2023.

杨超翔,胡博豪,刘文娟,孙成亮,孙博文. 压电MEMS麦克芯片及压电MEMS麦克风,ZL202210565797.4,中国,发明专利,2022.

谢英,刘文娟,刘炎,蔡耀,孙成亮,孙博文. 一种横向激励体声波谐振器,ZL202210530400.8,中国,发明专利,2022.

温志伟,刘文娟,刘婕妤,罗天成,蔡耀,孙成亮,孙博文. 一种兰姆波谐振器,ZL202210459949.2,中国,发明专利,2022.

温志伟,刘文娟,刘婕妤,孙成亮,孙博文,王健. 横向激励体声波谐振器及滤波器,ZL202210235815.2,中国,发明专利,2022.

孙成亮,汪泽凯,刘文娟,杨超翔,蔡耀,刘炎. 一种声学换能器及声学装置,专利授权号:ZL202210081612.2,中国,发明专利,2022.

孙成亮,刘文娟,杨超翔,胡博豪,王雅馨,林炳辉. 基于固支梁结构的双晶压电式MEMS麦克风,ZL202111505684.7,中国,发明专利,2021.

孙成亮,温志伟,刘文娟,蔡耀,刘婕妤,徐沁文,谷曦宇,曲远航. 有效机电耦合系数可调的超高频谐振器,ZL202110947614.0,中国,发明专利,2021.

Chaoxiang Yang, Bohao Hu, Wenjuan Liu, Chengliang Sun, Bowoon Soon. Piezoelectric MEMS Microphone Chip and Piezoelectric MEMS Microphone. 授权号:US11805371B1,美国专利,2023.

学生培养:

欢迎研究生、本科生加入本课题组。

科研项目:

科技部重点研发计划2020-2023,2024-2026,骨干

湖北省XXXX项目及产业化-课题负责人,2023-2026,主持

省级自然科学基金-青年科学基金,2023-2025,主持

中央高校自主科研基金项目,2023-2025,主持

电子制造与封装集成湖北省重点实验室开放基金,2023-2024,2024-2025,主持

其他企业、高校横向项目研究

    所获荣誉

    Best Student Paper Award Finalists-IEEE IUS 2023国际超声峰会,2023

    中国国际大学生创新大赛湖北省产业命题赛道金奖,2023

    第八届中国国际“互联网+”大学生创新创业大赛湖北省高教主赛道金奖,2022

    武汉大学2022年度优秀指导教师,2022

    天津大学优秀毕业生(2011,2014)

    开设课程


    职位 科研团队成员 邮箱 lwjwhu@whu.edu.cn
    电话 办公室