1、设备参数

飞秒激光三维直写系统的激光器为2W绿光飞秒激光器，中心波长515nm，平均功率2.39W，脉冲宽度474fs，重复频率4.91MHz，线偏振，方向为水平，脉冲能量为478nJ，输出光斑直径为2mm，功率稳定度为0.39RMS。

2、简介

由计算机控制高精度激光束扫描，利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光，显影后在抗蚀层表面形成所要求的浮雕轮廓。

3、功能(应用)

制造高分辨率三维微纳结构。