1、设备参数

1)飞秒激光器

波长：1028nm；

平均功率：10W@1028nm；

重频：1Hz~1 MHz可调；

脉宽：190fs~10ps可调；

最大脉冲能量：>0.4mJ@1028nm；

光束质量：M2<1.2。

2)激光倍频器

波长：514nm(SHG)，343nm(THG)；

转换效率：>50%(SHG)，>30%(THG)；

3)精密定位平台：X+Y+Z1+Z2轴；

行程：160×160×(60+5)mm；

精度XYZ： ±300nm；

最大速度XY：50mm/s；

重复定位精度：±100nm。

2、简介

FemtoLAB系统采用Pharos飞秒激光器做为光源，可7×24小时稳定工作，免维护。系统具有1028/514/343nm三波长加工能力，适用加工的材料极为广泛。同时采用Aerotech高精度高稳定性多轴定位系统和扫描振镜。机器视觉系统具有高分辨率，加工过程实时可见的功能。成熟的系统软件可以操控全部系统组件，算法先进。

3、功能(应用)

能承担高精度微纳加工研究工作，如材料表面微纳结构制作，超表面结构制备，三维微纳纳结构制作，对陶瓷、光学玻璃和蓝宝石等脆性易碎材料进行超精细加工，对立方氮化硼、金刚石、碳化钨等超硬材料进行精密加工，光纤光波导加工，研制新型微光学结构，高深径比微孔加工，透明材料折射率改变和加工，材料修复和改性，选择性去除，具有纳米分辨率的微米尺度3D结构增材加工(多光子聚合)等。