1、设备参数

1）面外振动最大频率为25MHz，可差分测量，输入电压不大于±10V，位移分辨率为50fm/√Hz

2）显微镜：

A-MOB-002X 放大倍数：2, 光斑直径：23（1/e²）µm, 视场：5.1*3.5 mm*mm

A-MOB-010X 放大倍数：10, 光斑直径：4.6（1/e²）µm, 视场：1.0*0.7 mm*mm

2、简介

Polytec MSA-600显微式激光测振仪主要由差分激光扫描系统和振动测量系统组成。振动位移是基于多普勒效应进行测试的，是用于MEMS研发及质量控制的集多功能于一体的光学测量工作站。

3、功能

1）面外振动测量拥有实时视频显示，通过实时视频进行激光定位，并进行自动聚焦；

2）可自定义测量网格大小，通过APS专业布点功能，一次测量最多可设置512*512个测量点（任何形状的被测对象均可），且高度集成为软件操作便于操作；

3）拥有快速定频扫描和FFT线数等功能。拥有全自动化软件数据处理，能够将测量数据进行数据、图形和视频导出。