2023年12月4-5日,“Microsystems & Nanoengineering学术年会”暨第28期中国电子学会青年人才托举沙龙在北京会议中心成功举办。“Microsystems & Nanoengineering学术年会”由Microsystems & Nanoengineering和中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室共同主办,中国微米纳米技术学会协办,第28期中国电子学会青年人才托举沙龙由中国电子学会主办。
会议邀请中国科学院空天信息创新研究院院长吴一戎院士担任大会主席,由中国科学院空天信息创新研究院传感技术联合国家重点实验室主任王波研究员主持大会,西安交通大学蒋庄德院士为开幕式致辞,同时邀请了英国巴斯大学校长Ian White院士,美国明尼苏达大学麦克凯特杰出教授崔天宏院士,武汉大学刘胜院士,浙江大学王平教授,清华大学朱荣教授,以及国家有关部门领导、相关领域专家学者,研究机构和企业代表共200余人参加本次会议。
武汉大学刘胜院士围绕微电子先进封装领域作题为“Extensible Vacuum Cluster System and Atomic Scale Manufacturing of Films and Devices”的特邀主旨报告,刘胜院士提出了薄膜生长缺陷跨时空分辨的多功能、高精度、高效率、高实用性的电子、等离子体、界面、晶向结构原位/实时监测与调控关键部件综合科学实验装置,依据薄膜生长涉及空间尺寸和跨时间尺度的特征,揭示飞秒激光等离子体复合增强MBE生长薄膜生长过程中能量的吸收、传递、转换机制以及缺陷的产生、演化、调控,采用超快RHEED和SEM/EBSD双模断层成像手段,同时辅以传统的观测手段,研究异质外延缺陷的演变与调控能场的相互作用,分步制造微观结构演变、变形、应力及能量耗散机制,生长过程中原子和分子的重排、化学键的形成和断裂、电子电离和电子密度的演化、等离子体形成与消失等超快动力学行为,并实现了对薄膜生长介观到微观上原子、分子、电子密度、等离子体、连接的介观界面的超快动力学演化,研究能量的吸收、传递、转换机制以及缺陷的产生、演化、调控的重要科学难题。
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此外,本次大会中来自剑桥大学、杜克大学、北京航空航天大学、上海交通大学、中国科学院空天信息创新研究院、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所等国内外高校和研究院所的专家学者分别围绕微纳传感技术、生物医疗微纳系统、环境微纳系统、微纳光学集成系统、微纳先进制造技术等最新和热点内容进行交流和分论坛报告。